更新时间:2026-03-24
浏览次数:40
二次离子质谱仪(SIMS)作为飞行时间质谱仪的重要细分类型,是半导体、生命科学等关键领域的核心材料表面分析工具。该类仪器因技术复杂度高、研发周期长、资金投入强度大,长期以来被少数跨国企业垄断,成为我国高精尖科学仪器领域的 “卡脖子" 产品之一。雪迪龙聚焦这一技术空白,持续推进二次离子质谱仪的自主研发与产业化,此次中标高校项目,正是国产质谱仪打破进口依赖、获得科研领域认可的直接体现。
飞行时间质谱仪(TOF-MS)是将飞行时间检测技术与质谱分析技术相结合的gao端分析设备,而二次离子质谱仪则是其在表面分析领域的核心应用形态。雪迪龙研发的飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS),整合了两者的技术优势,兼具高分辨率、高灵敏度、精确质量测定等核心特性,凭借质谱分析、二维成像、深度剖析三大核心功能,已广泛适配医学、细胞学、地质矿物学、微电子、材料化学、纳米科学、生命科学等多个前沿领域的科研与检测需求。其核心工作原理清晰易懂:离子源发射的离子束作为一次离子源,经一次离子光学系统聚焦与传输后,精准轰击样品表面;样品表面受溅射后产生二次离子,系统对二次离子进行提取与聚焦,随后送入离子飞行系统;在飞行系统中,不同质荷比(m/z)的二次离子因飞行速度差异实现分离,通过对分离后的离子进行检测,即可完成样品元素成分、分布特性等相关分析。
相较于能量色散 X 射线光谱(EDX)、俄歇电子能谱(AES)、X 射线光电子能谱(XPS)等传统技术,飞行时间二次离子质谱仪具备更高的横向与纵向分辨率,以及更优的质谱灵敏度,可实现元素、同位素、分子等多维度信息的精准分析,能够提供传统技术无法覆盖的专属元素信息,为前沿科研与工业检测提供核心技术支撑。